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OLED顯微鏡

產品(pin)時間(jian):2024-04-08

簡要描述:

OLED顯微(wei)鏡是(shi)利用(yong)金屬光激發OLED發光后測量OLED蒸鍍尺(chi)寸和(he)偏(pian)移(yi)等(deng)缺(que)陷的顯微(wei)鏡。影像量著重于準確(que)度,系統(tong)底座采用(yong)鑄(zhu)件/花崗石本體結(jie)構,減震(zhen)系統(tong)克服環境震(zhen)動(dong)問(wen)題,可(ke)解(jie)決高倍率解(jie)析(xi)時的震(zhen)動(dong)問(wen)題。系統(tong)采用(yong)XY軸光學(xue)尺(chi)模塊(kuai)可(ke)實(shi)現跨(kua)距(ju)量測。

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產品名稱:OLED顯微鏡
產品簡介:OLED顯微鏡是利用(yong)金屬光激(ji)發OLED發光后測量OLED蒸鍍(du)尺寸和(he)偏(pian)移等缺陷的(de)(de)顯微(wei)鏡。影像量測著重于準確度,系(xi)統底座采用(yong)鑄件/花崗石本體結構(gou),減震系(xi)統克服環境(jing)震動問(wen)題,可解決高(gao)倍率解析(xi)時的(de)(de)震動問(wen)題。系(xi)統采用(yong)XY軸光學(xue)尺模塊可實現跨距量測。光學(xue)系(xi)統采用(yong)Nikon/Olympus熒(ying)光顯微(wei)鏡光路實現對(dui)OLED的(de)(de)激(ji)發。人(ren)性化計算機量測模式,有效提高(gao)觀察定位(wei)效率。專為使用(yong)者設計*機型,使操作更便利、測量更迅速(su)。

產(chan)品特點(dian):

 手(shou)動量測系統XY采用精密無牙螺桿傳動,減少齒輪(lun)傳動偏移誤差

線性馬(ma)達/伺服馬(ma)達用于自動(dong)化(hua)量測傳動(dong)系(xi)統(tong),能(neng)實現高精(jing)度測量

系統采用被(bei)動(dong)式(shi)or主動(dong)式(shi)減震(zhen)系統,能克服環境震(zhen)動(dong)問(wen)題,可解(jie)決(jue)高倍率解(jie)析(xi)時的震(zhen)動(dong)問(wen)題

系統使(shi)用(yong)Nikon/Olympus 熒光(guang)顯微光(guang)路,有效(xiao)激發OLED發射光(guang)譜(pu)

系(xi)統使用人體工(gong)學設計理念設計,符合(he)友好化(hua)測量

設備應用:

 設備主要應用OLED的顯微分析和蒸(zheng)鍍測量上(shang)

量測工具

點(dian),線,圓,弧(hu),橢(tuo)圓,槽型(xing),曲線等各項不規則外型(xing)取樣

形(xing)位公差

真圓度(du),同心度(du),垂(chui)直度(du),傾斜(xie)度(du),位置(zhi)度(du),等各項形位公差設置(zhi)

UV功能驗證(zheng)

UV光源下圖像清晰

斷面測(ce)量

按照PO spec要求進行測試并保(bao)存(cun)結果

自(zi)動計算(suan)offset

根據(ju)蒸鍍(du)有(you)機(ji)材料的位(wei)置(zhi)與設(she)定的蒸鍍(du)位(wei)置(zhi)對比,計(ji)算(suan)offset;或者是(shi)將UV光(guang)圖像位(wei)置(zhi)和(he)上光(guang)源下圖片位(wei)置(zhi)對比,計(ji)算(suan)offset

UV光(guang)和(he)鹵(lu)素光(guang)自(zi)動切換

在軟件中點(dian)擊切換(huan)按鈕后,可以自動切換(huan)光源并呈現相(xiang)應的(de)圖(tu)像

SPC

軟件須附(fu)帶SPC功能,量測之數據須能自動導出作分析

報(bao)表輸出

軟件可客制化輸出客戶所需之(zhi) EXCEL,TXT,WORD,JPG

 

 

7.3.2 設備(bei)配置&特(te)征(zheng)

7.3.2System Configuration& Characteristic

 

 

外部尺寸:L*W*H≤2500*2500*2000mm
External Size: L*W*H≤2500*2500*2000mm

 

*測量行程(cheng):X*Y≥750*650mm

            Z≤100mm

 

重量:≤5000kg
 

 

承重:≥10kg

Capacity: ≥10kg

 

*高測量(liang)準確(que)度:XYZ≤1μm

*Maximum Accuracy: XYZ≤1μm

 

*機臺重復性(xing):≤1μm

*Machine Repeatability:≤1μm

 

XYZ最小移動距離(li):XYZ≤1um

XYZ minimum move distance: XYZ≤1um

 

XYZ移動(dong)精度: XYZ≤1um

XYZ move precision: XYZ≤1um

 

*XYZ軸移動速度: XYZ≤200mm/s
*XYZ Speed: XY≤200mm/s

 

7.3.3機械本體(ti)

7.3.3 Mechanics

主機:影(ying)像測量系統(tong),四軸CNC控(kong)制

Machine: 4-axis CNC video measuring machine

 

機械結構(gou):花崗巖(yan)或(huo)相同(tong)性能材質

Structure: Granite or comparable material

 

平面度公差:≤7um

Platness Tolerance: ≤7um

 

*光柵尺分辨率:XYZ≤0.5um
*Scale resolution: XYZ ≤0.5um

 

*攝像(xiang)機(ji):彩(cai)色(se)相機(ji),200萬像(xiang)素,WAN接口

*Camera: Color camera, 2000000 pixels,  the wan interface

 

*CCD芯片尺寸(cun):≥2/3英(ying)寸(cun)

*CCD Size: ≥2/3 inch      

 

光(guang)學系統(tong)配置:檢偏鏡,起偏鏡,紅藍綠濾光(guang)片,0.5X C接(jie)口(kou),明暗(an)場光(guang)學系統(tong),五(wu)孔電動鼻輪

The optical system configuration:  a polarizer, red green and blue filters, 0.5X C-mount, bright and dark field optical body, five holeelectric nose-wheel

 

*光(guang)學放(fang)大倍率:5X/10X/20X/50X/100X

 

光(guang)源特征:光(guang)源可以采用鹵素燈(deng)、汞燈(deng),壽命滿足SPEC要求

 

7.3.5電控系統、

7.3.5 Control System

電(dian)機(ji)(ji):直流伺服電(dian)機(ji)(ji)

Dynamo:DC servo motor

 

操(cao)(cao)作類型:鼠標和操(cao)(cao)作手柄,按鍵

Control Type: Mouse and Joystick

 

7.3.6軟件系統

7.3.6 Software System

功能:點,直線,圓,弧,橢圓,槽等(deng)測量(liang)功能,帶有線追蹤功能,粒(li)子(zi)計數,軟(ruan)件定位(wei)系(xi)統,軟(ruan)件控(kong)制光(guang)源亮度,軟(ruan)件控(kong)制電動鼻輪(lun),軟(ruan)件控(kong)制孔徑光(guang)闌

 

圖像:可復制,可進行大面積圖形無縫拼接

Image:  can copy

 

*數據格式:JPG/Excel

*Data format: JPG/Excel

 

7.3.7 其(qi)它

7.3.7 Others

*防微(wei)振裝置:達到VC-B級別的防震(zhen)平臺

*Anti-vibration device: Yes

 

*靜電(dian)防(fang)護:離子風(feng)棒(bang)

*ESD: BUAS

 

 

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